a). 主體
b). 研磨主軸控制系統(tǒng)
c). 雙頭工作軸控制系統(tǒng)
d). 擺動控制系統(tǒng)(防止偏心)
e). 自動研磨盤修整和開槽控制系統(tǒng)
f). 研磨液攪拌泵系統(tǒng)
g). 防塵蓋與防塵控制系統(tǒng)
a). 任意設(shè)置5片φ2;芯片的加工條件，程序設(shè)置簡單通過設(shè)定時間來完成單面研磨操作 可按工藝程序進行參數(shù)變更并可加工用于研發(fā)的其它樣品
b)防止芯片偏心在2個工作軸固定好芯片的陶瓷盤，并應(yīng)用重復(fù)自轉(zhuǎn)和擺動方式
將芯片的偏心現(xiàn)象減少到最小(偏心控制≤±2μm/1-block)
c). 研磨盤平行度及開槽控制系統(tǒng)平整研磨盤及開槽工藝可以用一次命令來完成
可在磨損后的研磨盤上直接刻出新槽，提高工作效率。
a). 研磨盤控制系統(tǒng)
-研磨盤尺寸: φ460mmXφ100mm
-研磨盤轉(zhuǎn)速: 20 ~ 220 rpm
-設(shè)置時間: 0.1 ~ 30 min
-滾球軸承類型
-馬達驅(qū)動 (kW) : 2.2kW,220V, 3P
b). 驅(qū)動控制系統(tǒng)
-擺動: Ac 伺服馬達 100W
-馬達驅(qū)動: Ac 齒輪馬達 60W, 2 工作頭
-驅(qū)動電源: 380V , 50Hz /60Hz, 5.0kW/30A
-驅(qū)動氣壓: 5.5~6 kg f/㎠ (0.55 ~0.6Mpa),φ8
-冷卻液管道: φ8
c). 研磨液自動噴灑系統(tǒng)
-噴灑系統(tǒng)數(shù)量: 2 個
-噴灑時間控制: 1 ~ 999 sec
-持續(xù)時間控制: 1 ~ 9 sec
d). 研磨盤自動修整系統(tǒng)及冷卻系統(tǒng)
-修整****尺寸: 200 mm
-修整****速度: 400 mm/min
-修整最小速度: 5 mm/min
-開槽距離: 0.1 ~9.9mm
-開槽深度控制系統(tǒng): 手動千分尺
-馬達驅(qū)動: 0.2 kW AC 伺服馬達
-修整后平面度: ±2μm
-修整刀尺寸: 10 x 10 x 100 mm
-循環(huán)水冷卻系統(tǒng)
e). 操作面板
-PLC控制系統(tǒng)
-按鍵控制系統(tǒng)
f). 空氣壓力控制系統(tǒng)
-基于氣缸的可變穩(wěn)定壓力系統(tǒng)
- φ62X200st
g). 消耗品及配件
-研磨盤: 研磨樹脂銅盤O.Dφ460cmXI.Dφ100cm
-陶瓷引導(dǎo)環(huán):φ170cm
-上蠟陶瓷盤: φ150mmX15t
-自動攪拌器，噴嘴，攪拌棒
-修整刀 60°X0.3R
-研磨液:6μm
設(shè)備尺寸: 1,250mm(W)X1,640mm(L)X1,950mm(H)
i). 設(shè)備重量: 2,400Kg
j). 預(yù)計產(chǎn)量: 7,000片/月
平面研磨機系列
